本文件适用于电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺技术
DB1310/T 227-2020 电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺技术规范
起草单位:廊坊赫尔劳斯太阳能光伏有限公司
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