本标准适用于半导体行业用金铍合金蒸发材料。
YS/T 1069-2015 金铍蒸发料
起草单位:贵研铂业股份有限公司、有色金属技术经济研究院
起草人:谢宏潮、阳岸恒、向磊等
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