适用于扩散炉热平衡、热效率及综合能耗的计算。对于其他类型的电阻炉热平衡、热效率及综合能耗的计算可参考本文件
SJ/T 11883-2022 扩散炉热平衡和热效率及综合能耗的计算方法
起草单位：中国电子技术标准化研究院、北京北方华创微电子装备有限公司、北京赛西认证有限责任公司、深圳赛西信息技术有限公司、青海大学、中国科学院电工研究所
起草人：张生春、赵立华、程朝阳、吴秀祥、李梦辰、麻林瑞、李兴、冀晓洲、李春琦、杨立娜
SJ/T 11883-2022 扩散炉热平衡和热效率及综合能耗的计算方法
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SJ/T 11883-2022标准状态
- 发布于：2022-10-20
- 实施于：2023-01-01
- *非实时更新以实际为准