SJ/T 11451-2022 扩散炉能源消耗规范

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适用于工作温度在400 ℃～1 350 ℃的扩散/氧化、退火、合金工艺使用的扩散炉

起草单位：北京北方华创微电子装备有限公司、中国电子技术标准化研究院、晶澳太阳能科技股份有限公司、株洲中车时代半导体有限公司、英利能源（中国）有限公司、北京赛西认证有限责任公司

起草人：李补忠、吴秀祥、孙朋涛、张颖、郝晓明、赵永猛、刘月雷、张红妹、张生春、李琳