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YS/T 837-2012 溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法

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YS/T 837-2012标准状态

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溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法简介

YS/T 837-2012 溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法

起草单位:有研亿金新材料股份有限公司、中国计量科学研究院等

起草人:刘红宾、尚再艳 等

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