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JB/T 12067-2014 TDL-GX硅芯生长炉

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JB/T 12067-2014标准状态

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TDL-GX硅芯生长炉简介

JB/T 12067-2014 TDL-GX硅芯生长炉

起草单位:西安电炉研究所有限公司、西安理工晶体科技有限公司等

起草人:陈巨才、朱琳 等

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