JC/T 2392.3-2023 石英玻璃碇第3部分：等离子化学气相沉积法

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本文件规定了等离子化学气相沉积法石英玻璃碇的分级、要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于以四氯化硅等无氢含硅化合物为原料，在等离子高温火焰中气相化学反应沉积而成的石英玻璃碇。

起草单位：中国建筑材料科学研究总院有限公司、中国国检测试控股集团股份有限公司、中建材衢州金格兰石英有限公司

起草人：杜秀蓉、孙元成、宋学富、张晓强、杨学东、杨晓会、王京侠、花宁

JC/T 2392.3-2023 石英玻璃碇 第3部分：等离子化学气相沉积法