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YS/T 1703-2024 晶片包装片盒表面颗粒的测试液体颗粒计数法

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YS/T 1703-2024标准状态

发布于：2024-10-24
实施于：2025-05-01
*非实时更新以实际为准

晶片包装片盒表面颗粒的测试液体颗粒计数法简介

本文件适用于直径100mm、125mm、150mm、200mm、300mm的硅抛光片、硅外延片、SOI片及其他材质的半导体晶片包装片盒颗粒洁净度的测试

YS/T 1703-2024 晶片包装片盒表面颗粒的测试液体颗粒计数法

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