内容简要 本文件适用于使用傅里叶变换红外光谱仪和便携式气体检测仪评估尾气处理设备的分解移除效率。其它仪器可参考执行。…
T/CCGA 90004-2023 泛半导体用尾气处理设备分解移除效率的测试方法
主要起草人：朱文心、熊艳玲、刘翔宇、高艳秋、魏王慧、夏威偉
起草单位：埃地沃兹贸易（上海）有限公司、上海市计量测试技术研究院、台积电（中国）有限公司、中国电子气体生产与利用百人会
范围：本文件规定了泛半导体用尾气处理设备分解移除效率的测试方法。本文件适用于使用傅里叶变换红外光谱仪和便携式气体检测仪评估尾气处理设备的分解移除效率。其它仪器可参考执行。