内容简要 1 范围2 规范性引用文件3 术语和定义4 要求5 试验方法6 检验规则7 标志和随行文件8 包装、运输和贮存…
T/WHQASA 12-2024 10.5G 化学气相沉积设备用下部加热基座
主要起草人：司奇峰、王慧、刘其贵、何新玉、熊宏祥、王玉亮、王宜申、吴小杰、郑建军、王茹、黄锦祥、张丽
起草单位：芜湖通潮精密机械股份有限公司、合肥京东方显示技术有限公司、芜湖芯通半导体材料有限公司、芜湖长信科技股份有限公司、芜湖晶纯科技有限公司、安徽润景信息科技有限公司。
范围：本文件规定了10.5G化学气相沉积设备用下部加热基座产品（以下简称“下部加热基座”）的技术要求、检测方法、检验规则以及包装、运输和贮存。本文件适用于10.5G化学气相沉积设备用下部加热基座产品的研制、生产、检验和交付。